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    深入了解光學(xué)輪廓儀的測量原理與優(yōu)勢

    更新時(shí)間:2024-05-29點(diǎn)擊次數:257
      光學(xué)輪廓儀是一種基于光學(xué)干涉原理的精密測量?jì)x器。其測量原理主要基于白光干涉技術(shù),結合精密Z向掃描模塊和3D建模算法等,對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。具體過(guò)程如下:
     
      光源與分光:光學(xué)輪廓儀的光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴束準直后,經(jīng)過(guò)分光棱鏡分成兩束光。
     
      反射與干涉:一束光經(jīng)被測表面反射回來(lái),另一束光經(jīng)參考鏡反射。這兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉。
     
      形貌轉化為干涉條紋:顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號。
     
      數據處理:通過(guò)系統軟件對干涉條紋信號進(jìn)行數據處理與分析,獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數,實(shí)現器件表面形貌的3D測量。
     
      優(yōu)勢:
     
      光學(xué)輪廓儀相較于其他測量工具,具有顯著(zhù)的優(yōu)勢,主要包括以下幾點(diǎn):
     
      高精度:能夠實(shí)現亞微米級別的形狀和表面粗糙度測量,測量精度高于是其他測量方法的。干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距,光程差就改變一個(gè)波長(cháng)(~10^-7米),因此其測量精度高。
     
      非接觸式:采用非接觸式測量方法,不會(huì )對被測物體造成損傷或變形,特別適用于各種材料、形狀和尺寸的物體測量。
     
      大面積快速測量:測量范圍為毫米級,XY樣品臺可達100mm*100mm,能夠輕松測量大面積樣品。
     
      可視化3D功能:配備強大的處理軟件,可以進(jìn)行表面粗糙度、形狀、臺階高度的測量,并支持任意角度移動(dòng)樣品進(jìn)行3D圖形測量,多角度分析樣品圖像。
     
      高效性:可實(shí)現快速高效的測量,并能夠完成大批量樣品的自動(dòng)化測量。
     
      使用便捷:只需將樣品放在樣品臺上,即可直接測量,無(wú)需更換耗材,只需一個(gè)LED光源。
     
      綜上所述,光學(xué)輪廓儀測量原理和顯著(zhù)的優(yōu)勢,在制造業(yè)、醫療設備、半導體和生命科學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域得到廣泛應用,為產(chǎn)品質(zhì)量控制、科學(xué)研究和生產(chǎn)過(guò)程監測提供了強有力的支持。
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